掺铬类石墨薄膜摩擦学性能研究_中国煤炭行业知识服务平台

掺铬类石墨薄膜摩擦学性能研究

作者

严少平蒋百灵段冰顾广颐孙雅琴
单位

安徽理工大学理学院西安理工大学材料科学与工程学院安徽理工大学理学院安徽淮南232001陕西西安710048
摘要

采用非平衡磁控溅射离子镀技术,以电流控制方式在高速钢和硅基底上制备了不同C r含量的C/C r类石墨薄膜,测量了类石墨膜的显微硬度、膜基结合强度、摩擦系数和比磨损率,分析了薄膜的相结构,观察了薄膜的表面和断面形貌。结果表明:所制备的类石墨薄膜随C r含量的增高,硬度逐渐降低,结合强度先增后降,摩擦系数和比磨损率则先降后升;类石墨膜是含有多种纳米晶的非晶结构;金属元素C r含量影响了类石墨碳膜的表面形貌和组织结构。当C r含量在0.5%~2.5%时,薄膜表面光滑而结构致密,摩擦系数小且比磨损率低,膜基结合强度高,具有良好减摩耐磨性能。
关键词

类石墨膜摩擦学性能非平衡磁控溅射显微硬度组织结构
基金项目(Foundation)

国家863科技攻关项目(2005AA33H010)；安徽省教育厅自然科学基金(2005kj034zd)；
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