非平衡磁控溅射CrTiAlN镀层摩擦学性能分析_中国煤炭行业知识服务平台

非平衡磁控溅射CrTiAlN镀层摩擦学性能分析

作者

严少平孙雅琴段冰顾广颐蒋百灵
单位

安徽理工大学数理系西安理工大学材料科学与工程学院西安理工大学材料科学与工程学院安徽淮南232001陕西西安710048
摘要

为探讨C rT iA lN镀层高硬度、低磨损机理,应用UDP850/4镀层设备,在高速钢和单晶硅基体上制备了C rT iA lN复合镀层,并测试了其力学性能和摩擦学性能,采用XRD、SEM、TEM等手段对镀层微观组织结构进行了分析。结果表明:在75 V负偏压下沉积的镀层具有显微硬度高、摩擦系数小,磨损率低,膜/基结合和韧性良好;镀层由C rN、T iN、A lN、C r2N和T i2N等纳米晶组成;纳米晶粒弥散于非晶的结构是硬度增强的机理;良好的膜基结合、韧性好和低摩擦系数是镀层具有低磨损的原因。
关键词

非平衡磁控溅射CrTiAlN复合镀层显微硬度摩擦磨损性能
基金项目(Foundation)

安徽理工大学引进人才基金资助项目(2004YB09)；国家高新技术研究发展计划(863计划)新材料领域基金资助项目(2005AA33H010)；
相关文章

[1]掺铬类石墨薄膜摩擦学性能研究
[2]非平衡磁控溅射掺Cr类石墨镀层的结构分析