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微磨料水射流对多晶硅切割的试验研究与模型分析
  • 185
  • 作者

    李志荣封志明郭宗环

  • 单位

    西华大学机械工程与自动化学院

  • 摘要
    笔者根据材料冲蚀磨损原理,分析探讨了微磨料水射流切割多晶硅硅锭的机理。并运用后混合微磨料射流切割装置,对多晶硅硅锭进行了单因素切割试验,从而获得了切割性能曲线。研究结果表明,微磨料水射流对多晶硅的切割完全可行,射流压力和横移速度是重要的试验数据。通过对高压磨料水射流切割性能的预测和加工参数的优化,最终建立切割表面质量经验模型,根据模型分析得出射流压力、横移速度与切割质量之间的关系。
  • 关键词

    磨料水射流微细加工多晶硅切割深度切割质量

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2012年07期
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