基于磨料水射流的多晶硅车削试验与建模_中国煤炭行业知识服务平台

基于磨料水射流的多晶硅车削试验与建模

作者

卫排锋雷玉勇刘克福蒋代君王荣娟
单位

西华大学机械工程与自动化学院机械电子工程与自动化研究所
摘要

笔者通过进行磨料水射流车削多晶硅片的试验研究,说明了磨料水射流车切多晶硅这类脆性材料的可行性。磨料水射流车削多晶硅的表面质量主要受射流压力、进给速度、靶距和主轴转速的影响。在正交试验设计的基础上,采用回归分析方法,在磨料水射流车削多晶硅过程中,建立了主要加工工艺参数对表面粗糙度影响模型。通过对该模型的相关指标的分析表明,回归方程有一定指导意义。该模型为合理选择磨料水射流车削工艺参数提供了理论基础,在半导体制造业具有较大应用价值。
关键词

磨料水射流磨料水射流切割车削多晶硅半导体
基金项目(Foundation)

四川省教育厅项目(09ZZ030/09ZB085/09ZA116)；
相关文章

[1]磨料水射流微加工技术的研究
[2]基于ANSYS磨料水射流机床悬臂梁刚度的有限元分析
[3]磨料水射流铣削加工表面粗糙度模型研究
[4]基于模糊神经网络的磨料水射流切割质量控制
[5]电火花线切割加工与磨料水射流加工质量的对比研究