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半导体制造用碳化硅粉末加工研究
  • 139
  • 作者

    王宁峰铁生年

  • 单位

    青海大学青海大学 青海西宁810016

  • 摘要
    研究了球磨机加工半导体制造用SiC粉末过程中中位径与表面积的对应关系,中位径随研磨时间变化的函数关系,不同研磨时间粉体的粒度分布变化,通过分析得到数学表达式。
  • 关键词

    球磨机碳化硅粉末加工

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