单脉冲266 nm固体激光烧蚀蓝宝石的工艺和机理_中国煤炭行业知识服务平台

单脉冲266 nm固体激光烧蚀蓝宝石的工艺和机理

作者

齐立涛李雪刘亚升
单位

黑龙江科技大学机械工程学院
摘要

为探讨266 nm纳秒固体激光单脉冲烧蚀蓝宝石的机理,通过改变激光能量研究烧蚀微孔的尺寸和质量,采用原子力显微镜表征烧蚀微孔,确定激光脉冲能量和微孔直径的关系,得到266 nm纳秒激光烧蚀蓝宝石的阈值,给出了微孔的直径和深度随激光能量的变化关系。结果表明,微孔的直径和深度随激光能量密度的增加而增加。低能量密度烧蚀蓝宝石时,具有较高的烧蚀质量,随着能量密度的增加,烧蚀质量变差。低能量密度时以光化学作用为主,高能量密度时以光热作用为主,存在光化学和光热共同作用的过渡区域。
关键词

266nm纳秒固体激光蓝宝石烧蚀阈值烧蚀机理单脉冲
基金项目(Foundation)

黑龙江省自然科学基金面上项目(E2017060)；CAD/CAM福建省高校工程技术研究中心开放课题(K201706)；
文章目录

0 引言
1 实验装置与方法
2 结果与讨论
2.1 烧蚀特征
2.2 烧蚀阈值
2.3 蚀除机理
3 结束语
引用格式

齐立涛,李雪,刘亚升.单脉冲266 nm固体激光烧蚀蓝宝石的工艺和机理[J].黑龙江科技大学学报,2020,30(04):416-421+464.
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