为研究细胞在三维生长状态下的牵张力,采用微机电系统（MEMS）加工技术,以玻璃为微加工基底,采用气相淀积的方法制备聚一氯对二甲苯（Parylene-C）薄膜,通过光刻与刻蚀工艺将Parylene-C薄膜图形化,进而制备了用于细胞牵引力测量的微板。针对Parylene-C刻蚀工艺的刻蚀速率精度低与刻蚀均匀性差,难以实现直接在3μm厚的Parylene图形上精确刻蚀2.9μm深、余厚100 nm的凹槽问题,通过方案的优化设计,改良工艺步骤,将一次积淀、二次刻蚀的工艺流程优化为两次积淀、两次刻蚀,通过第二次直接积淀100 nm厚Parylene C薄膜与刻蚀凹槽外区域形成相应厚度凹槽的方法,精确高效地使Parylene-C薄膜图形化,最终得到了厚度3μm、边长50μm、间距5μm的成对Parylene-C方形微板,方形微板之间为厚度100 nm的Parylene-C连接。微板制作完成后,玻璃基片表面经酰氧乙基磷酸胆碱聚合物涂层进行处理。将成纤维细胞接种在加工成型的Parylene-C微板上。结果表明,Parylene-C微板具有很好的生物相容性,单个成纤维细胞在微板上生长良好。方形微板之间连接具有很好的柔性和可变形性,用微针轻轻触动微板,能很容易实现微板的折叠。该微板可为测量细胞在三维状态下的牵张力提供新的方法。

国家自然科学基金资助项目（11572213,11632013,11502158）；山西省重点研发国际合作项目（201803D421060）；

1 微板设计
2 实验过程
2.1 微板加工
2.2 细胞实验
3 结果与讨论
3.1 微板加工结果与讨论
3.2 细胞实验结果与讨论
4 结论

赵丽君,董晓,李晓娜,黄棣,张全有,侯晋川,陈维毅.一种用于细胞牵引力测量的Parylene-C微板的制备[J].太原理工大学学报,2021,52(06):1010-1015.DOI:10.16355/j.cnki.issn1007-9432tyut.2021.06.022.