基于MEMS技术的甲烷催化燃烧传感器研究进展_中国煤炭行业知识服务平台

基于MEMS技术的甲烷催化燃烧传感器研究进展

作者

刘妮舒震隋然王涛曹振芳
单位

中国船舶集团有限公司第七一八研究所
摘要

催化燃烧式甲烷传感器是目前煤矿中使用最普遍的传感器。催化燃烧式气体传感器制作技术简单，成本低廉，对甲烷气体的检测有较高的准确度和灵敏度，但目前传统的催化燃烧式气体传感器一般由手工制作而成，存在配对难、一致性差、功耗高等缺点。随着智能物联网和硅体微加工技术的发展，微电子机械系统（MEMS）技术日益成熟，与传统传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、稳定性好和易于实现自动化批量生产等优点。许多研究学者开始研发和设计基于MEMS技术的可燃气体催化燃烧式传感器，并在传感器微结构体制作工艺与材料方面取得突破。
关键词

MEMS催化燃烧传感器甲烷可燃气体传感器载体催化元件
文章目录

0 引言
1 传统的催化燃烧式甲烷气体传感器
2 MEMS气体传感器
2.1 MEMS气体传感器的种类
2.2 MEMS催化燃烧传感器
3 基于MEMS技术的甲烷催化燃烧式传感器
3.1 原理及结构
3.2 硅基片加工
3.3 微加热板工艺
3.4 催化剂
3.5 封装
4 结语
引用格式

刘妮,舒震,隋然,王涛,曹振芳.基于MEMS技术的甲烷催化燃烧传感器研究进展[J].煤炭与化工,2022,45(11):131-135+147.DOI:10.19286/j.cnki.cci.2022.11.036.